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    Titel:

    Densification of ∼5nm-thick SiO2 layers by nitric acid oxidation

    Beteiligte:

    Choi, Jaeyoung (Autor:in) / Joo, Soyeong (Autor:in) / Park, Tae Joo (Autor:in) / Kim, Woo-Byoung (Autor:in)

    Erschienen in:

    Applied surface science ; 413 ; 92-98

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2017

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.44

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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