Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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ATOMIC LAYER DEPOSITION WITH PASSIVATION TREATMENT
A method includes: 1) performing an atomic layer deposition cycle including (a) introducing precursors into a deposition chamber housing a substrate to deposit a material on the substrate; and (b) introducing a passivation gas into the deposition chamber to passivate a surface of the material; and 2) repeating 1) a plurality of times to form a film of the material.
Ce procédé comprend : 1) la réalisation d'un cycle de dépôt de couche atomique comprenant (a) l'introduction de précurseurs dans une chambre de dépôt logeant un substrat pour déposer un matériau sur le substrat; et (b) introduire un gaz de passivation dans la chambre de dépôt pour passiver une surface du matériau; et 2) répéter 1) plusieurs fois pour former un film du matériau.
ATOMIC LAYER DEPOSITION WITH PASSIVATION TREATMENT
A method includes: 1) performing an atomic layer deposition cycle including (a) introducing precursors into a deposition chamber housing a substrate to deposit a material on the substrate; and (b) introducing a passivation gas into the deposition chamber to passivate a surface of the material; and 2) repeating 1) a plurality of times to form a film of the material.
Ce procédé comprend : 1) la réalisation d'un cycle de dépôt de couche atomique comprenant (a) l'introduction de précurseurs dans une chambre de dépôt logeant un substrat pour déposer un matériau sur le substrat; et (b) introduire un gaz de passivation dans la chambre de dépôt pour passiver une surface du matériau; et 2) répéter 1) plusieurs fois pour former un film du matériau.
ATOMIC LAYER DEPOSITION WITH PASSIVATION TREATMENT
DÉPÔT DE COUCHE ATOMIQUE AVEC TRAITEMENT DE PASSIVATION
PRINZ FRIEDRICH B (Autor:in) / XU SHICHENG (Autor:in) / ENGLISH TIMOTHY (Autor:in) / PROVINE JOHN (Autor:in) / THIAN DICKSON (Autor:in) / TORGERSEN JAN (Autor:in)
15.03.2018
Patent
Elektronische Ressource
Englisch
Silicon surface passivation using thin HfO2 films by atomic layer deposition
| British Library Online Contents | 2015
High-Speed Spatial Atomic-Layer Deposition of Aluminum Oxide Layers for Solar Cell Passivation
| British Library Online Contents | 2010
| British Library Online Contents | 2010
| British Library Online Contents | 2013