A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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SINTERED BODY, SPUTTERING TARGET, AND MANUFACTURING METHOD OF SINTERED BODY
To provide a sintered body capable of suppressing generation of abnormal discharge by effectively reducing bulk resistance while providing appropriate mechanical strength, a sputtering target, and a manufacturing method of sintered body.SOLUTION: A sintered body of the present invention is the sintered body of oxide containing In, Ga and Zn, where the relations of 0.317
【課題】適切な機械的強度としつつ、バルク抵抗を有効に低減して、異常放電の発生を抑制することのできる焼結体、スパッタリングターゲットおよび、焼結体の製造方法を提供する。【解決手段】この発明の焼結体は、Ｉｎ、Ｇａ及びＺｎを含有する酸化物の焼結体であって、０．３１７＜Ｉｎ／（Ｉｎ＋Ｇａ＋Ｚｎ）≦０．３５０、０．３１７＜Ｇａ／（Ｉｎ＋Ｇａ＋Ｚｎ）≦０．３５０、および、０．３１７＜Ｚｎ／（Ｉｎ＋Ｇａ＋Ｚｎ）≦０．３５０の関係を満たし、バルク抵抗値が１５ｍΩｃｍ以上かつ２５ｍΩｃｍ以下であり、抗折強度が４０ＭＰａ以上かつ５０ＭＰａ未満である。【選択図】なし
SINTERED BODY, SPUTTERING TARGET, AND MANUFACTURING METHOD OF SINTERED BODY
To provide a sintered body capable of suppressing generation of abnormal discharge by effectively reducing bulk resistance while providing appropriate mechanical strength, a sputtering target, and a manufacturing method of sintered body.SOLUTION: A sintered body of the present invention is the sintered body of oxide containing In, Ga and Zn, where the relations of 0.317
【課題】適切な機械的強度としつつ、バルク抵抗を有効に低減して、異常放電の発生を抑制することのできる焼結体、スパッタリングターゲットおよび、焼結体の製造方法を提供する。【解決手段】この発明の焼結体は、Ｉｎ、Ｇａ及びＺｎを含有する酸化物の焼結体であって、０．３１７＜Ｉｎ／（Ｉｎ＋Ｇａ＋Ｚｎ）≦０．３５０、０．３１７＜Ｇａ／（Ｉｎ＋Ｇａ＋Ｚｎ）≦０．３５０、および、０．３１７＜Ｚｎ／（Ｉｎ＋Ｇａ＋Ｚｎ）≦０．３５０の関係を満たし、バルク抵抗値が１５ｍΩｃｍ以上かつ２５ｍΩｃｍ以下であり、抗折強度が４０ＭＰａ以上かつ５０ＭＰａ未満である。【選択図】なし
SINTERED BODY, SPUTTERING TARGET, AND MANUFACTURING METHOD OF SINTERED BODY
焼結体、スパッタリングターゲットおよび、焼結体の製造方法
HIDESHIMA MASAAKI (author) / TSUNODA KOJI (author)
2020-03-26
Patent
Electronic Resource
Japanese
COMPOSITE SINTERED BODY, SPUTTERING TARGET, AND METHOD OF MANUFACTURING COMPOSITE SINTERED BODY
| European Patent Office | 2019
| European Patent Office | 2019
OXIDE SINTERED BODY AND SPUTTERING TARGET COMPRISING OXIDE SINTERED BODY
European Patent Office | 2018
OXIDE SINTERED BODY AND SPUTTERING TARGET COMPRISING OXIDE SINTERED BODY
| European Patent Office | 2017
OXIDE SINTERED BODY AND SPUTTERING TARGET COMPRISING OXIDE SINTERED BODY
| European Patent Office | 2016