A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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SPUTTERING TARGET AND SPUTTERING TARGET MANUFACTURING METHOD
[Problem] To more reliably suppress the intrusion of a bonding material into a gap that is formed between adjacent target members. [Solution] A backing tube is cylindrical, and a plurality of recesses are formed in the outer circumferential surface of the backing tube. A target body includes a plurality of cylindrical target members that surround the outer circumferential surface of the backing tube, and the plurality of target members are arranged so as to be separated from each other. A gap which is formed between adjacent target members when the plurality of target members are aligned in a central axis direction extends around the central axis of the backing tube, and the gap intersects the plurality of recesses. A bonding material is provided between the backing tube and the target body so as to bond the backing tube and the plurality of target members to each other. A shielding member is disposed between the bonding material and the target body so as to lay across the plurality of recesses, and the shielding member shields the gap from the bonding material side.
Le problème décrit par la présente invention est de supprimer plus fiablement l'intrusion d'un matériau de liaison dans un espace qui est formé entre des éléments cibles adjacents. La solution selon l'invention porte sur un tube de renfort qui est cylindrique, et sur une pluralité d'évidements formés dans la surface circonférentielle externe du tube de renfort. Un corps cible comprend une pluralité d'éléments cibles cylindriques qui entourent la surface circonférentielle externe du tube de renfort, et la pluralité d'éléments cibles sont agencés de façon à être séparés les uns des autres. Un espace, qui est formé entre des éléments cibles adjacents lorsque la pluralité d'éléments cibles sont alignés dans une direction d'axe central, s'étend autour de l'axe central du tube de renfort, et l'espace coupe la pluralité d'évidements. Un matériau de liaison est disposé entre le tube de renfort et le corps cible de façon à lier le tube de renfort et la pluralité d'éléments cibles l'un à l'autre. Un élément de protection est disposé entre le matériau de liaison et le corps cible de manière à s'étendre sur la pluralité d'évidements, et l'élément de protection protège l'espace du côté matériau de liaison.
【課題】隣り合うターゲット部材間に形成される間隙への接合材の侵入をより確実に抑制する。 【解決手段】バッキングチューブは筒状であり、外周面に複数の凹部が形成されている。ターゲット本体は、バッキングチューブの外周面を囲む円筒状の複数のターゲット部材を有し、複数のターゲット部材のそれぞれが離間するように並設される。中心軸方向に複数のターゲット部材が並ぶにことによって隣り合うターゲット部材間に形成される間隙がバッキングチューブの中心軸周りを周回し、間隙が複数の凹部のそれぞれと交差する。接合材は、バッキングチューブとターゲット本体との間に設けられ、上記バッキングチューブと複数のターゲット部材のそれぞれとを接合する。遮蔽部材は、複数の凹部のそれぞれを跨ぐように接合材とターゲット本体との間に配置され、間隙を接合材の側から遮蔽する。
SPUTTERING TARGET AND SPUTTERING TARGET MANUFACTURING METHOD
[Problem] To more reliably suppress the intrusion of a bonding material into a gap that is formed between adjacent target members. [Solution] A backing tube is cylindrical, and a plurality of recesses are formed in the outer circumferential surface of the backing tube. A target body includes a plurality of cylindrical target members that surround the outer circumferential surface of the backing tube, and the plurality of target members are arranged so as to be separated from each other. A gap which is formed between adjacent target members when the plurality of target members are aligned in a central axis direction extends around the central axis of the backing tube, and the gap intersects the plurality of recesses. A bonding material is provided between the backing tube and the target body so as to bond the backing tube and the plurality of target members to each other. A shielding member is disposed between the bonding material and the target body so as to lay across the plurality of recesses, and the shielding member shields the gap from the bonding material side.
Le problème décrit par la présente invention est de supprimer plus fiablement l'intrusion d'un matériau de liaison dans un espace qui est formé entre des éléments cibles adjacents. La solution selon l'invention porte sur un tube de renfort qui est cylindrique, et sur une pluralité d'évidements formés dans la surface circonférentielle externe du tube de renfort. Un corps cible comprend une pluralité d'éléments cibles cylindriques qui entourent la surface circonférentielle externe du tube de renfort, et la pluralité d'éléments cibles sont agencés de façon à être séparés les uns des autres. Un espace, qui est formé entre des éléments cibles adjacents lorsque la pluralité d'éléments cibles sont alignés dans une direction d'axe central, s'étend autour de l'axe central du tube de renfort, et l'espace coupe la pluralité d'évidements. Un matériau de liaison est disposé entre le tube de renfort et le corps cible de façon à lier le tube de renfort et la pluralité d'éléments cibles l'un à l'autre. Un élément de protection est disposé entre le matériau de liaison et le corps cible de manière à s'étendre sur la pluralité d'évidements, et l'élément de protection protège l'espace du côté matériau de liaison.
【課題】隣り合うターゲット部材間に形成される間隙への接合材の侵入をより確実に抑制する。 【解決手段】バッキングチューブは筒状であり、外周面に複数の凹部が形成されている。ターゲット本体は、バッキングチューブの外周面を囲む円筒状の複数のターゲット部材を有し、複数のターゲット部材のそれぞれが離間するように並設される。中心軸方向に複数のターゲット部材が並ぶにことによって隣り合うターゲット部材間に形成される間隙がバッキングチューブの中心軸周りを周回し、間隙が複数の凹部のそれぞれと交差する。接合材は、バッキングチューブとターゲット本体との間に設けられ、上記バッキングチューブと複数のターゲット部材のそれぞれとを接合する。遮蔽部材は、複数の凹部のそれぞれを跨ぐように接合材とターゲット本体との間に配置され、間隙を接合材の側から遮蔽する。
SPUTTERING TARGET AND SPUTTERING TARGET MANUFACTURING METHOD
CIBLE DE PULVÉRISATION CATHODIQUE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CIBLE DE PULVÉRISATION CATHODIQUE
スパッタリングターゲット及びスパッタリングターゲットの製造方法
WADA MASARU (author) / OITORI HIROSHI (author) / SAITOU KATSUHITO (author) / TAYA KAZUMI (author) / TAKAHASHI KAZUTOSHI (author)
2020-12-17
Patent
Electronic Resource
Japanese
SPUTTERING TARGET AND SPUTTERING TARGET MANUFACTURING METHOD
| European Patent Office | 2020
SPUTTERING TARGET AND SPUTTERING TARGET MANUFACTURING METHOD
| European Patent Office | 2020
SPUTTERING TARGET AND METHOD OF MANUFACTURING SPUTTERING TARGET
| European Patent Office | 2020
SPUTTERING TARGET, AND MANUFACTURING METHOD OF SPUTTERING TARGET
| European Patent Office | 2019
SPUTTERING TARGET AND METHOD FOR MANUFACTURING SPUTTERING TARGET
| European Patent Office | 2023