A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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SPUTTERING TARGET AND SPUTTERING TARGET MANUFACTURING METHOD
[Problem] To suppress peeling of a shielding member. [Solution] A sputtering target wherein a target body comprises a plurality of cylindrical target members that surround the outer circumferential surface of a cylindrical backing tube, and the plurality of target members are arranged so as to be separated from each other in a central axis direction of the backing tube. A gap which is formed between adjacent target members when the plurality of target members are aligned in the central axis direction extends around the central axis of the backing tube, and recesses which are in communication with the gap are formed on the backing tube side. A bonding material is provided between the backing tube and the target body so as to bond the backing tube and the plurality of target members to each other. A shielding member is disposed between the bonding material and the target body, is accommodated in the recesses, and shields the gap from the bonding material side.
Le problème décrit par la présente invention est d'éviter le pelage d'un élément de protection. La solution selon l'invention porte sur une cible de pulvérisation dans laquelle un corps de cible comprend une pluralité d'éléments cibles cylindriques qui entourent la surface circonférentielle externe d'un tube de support cylindrique, la pluralité d'éléments cibles étant agencés de façon à être séparés les uns des autres dans une direction d'axe central du tube de support. Un espace formé entre des éléments cibles adjacents lorsque la pluralité d'éléments cibles sont alignés dans la direction d'axe central s'étend autour de l'axe central du tube de support, et des évidements qui sont en communication avec l'espace sont formés du côté du tube de support. Un matériau de liaison est disposé entre le tube de support et le corps de cible de façon à lier entre eux le tube de support et la pluralité d'éléments cibles. Un élément de protection est disposé entre le matériau de liaison et le corps de cible et logé dans les évidements, et protège l'espace depuis le côté du matériau de liaison.
【課題】遮蔽部材の剥離の抑制。 【解決手段】スパッタリングターゲットにおいて、ターゲット本体は、筒状のバッキングチューブの外周面を囲む円筒状の複数の円筒状のターゲット部材を有し、複数のターゲット部材のそれぞれがバッキングチューブの中心軸方向に離間するように並設され、中心軸方向に複数のターゲット部材が並ぶことよって隣り合うターゲット部材間に形成される間隙がバッキングチューブの中心軸周りを周回し、間隙に連通する凹部が上記バッキングチューブの側に形成されている。接合材は、バッキングチューブと上記ターゲット本体との間に設けられ、バッキングチューブと複数のターゲット部材のそれぞれとを接合する。遮蔽部材は、接合材とターゲット本体との間に配置され、凹部に収容され、間隙を上記接合材の側から遮蔽する。
SPUTTERING TARGET AND SPUTTERING TARGET MANUFACTURING METHOD
[Problem] To suppress peeling of a shielding member. [Solution] A sputtering target wherein a target body comprises a plurality of cylindrical target members that surround the outer circumferential surface of a cylindrical backing tube, and the plurality of target members are arranged so as to be separated from each other in a central axis direction of the backing tube. A gap which is formed between adjacent target members when the plurality of target members are aligned in the central axis direction extends around the central axis of the backing tube, and recesses which are in communication with the gap are formed on the backing tube side. A bonding material is provided between the backing tube and the target body so as to bond the backing tube and the plurality of target members to each other. A shielding member is disposed between the bonding material and the target body, is accommodated in the recesses, and shields the gap from the bonding material side.
Le problème décrit par la présente invention est d'éviter le pelage d'un élément de protection. La solution selon l'invention porte sur une cible de pulvérisation dans laquelle un corps de cible comprend une pluralité d'éléments cibles cylindriques qui entourent la surface circonférentielle externe d'un tube de support cylindrique, la pluralité d'éléments cibles étant agencés de façon à être séparés les uns des autres dans une direction d'axe central du tube de support. Un espace formé entre des éléments cibles adjacents lorsque la pluralité d'éléments cibles sont alignés dans la direction d'axe central s'étend autour de l'axe central du tube de support, et des évidements qui sont en communication avec l'espace sont formés du côté du tube de support. Un matériau de liaison est disposé entre le tube de support et le corps de cible de façon à lier entre eux le tube de support et la pluralité d'éléments cibles. Un élément de protection est disposé entre le matériau de liaison et le corps de cible et logé dans les évidements, et protège l'espace depuis le côté du matériau de liaison.
【課題】遮蔽部材の剥離の抑制。 【解決手段】スパッタリングターゲットにおいて、ターゲット本体は、筒状のバッキングチューブの外周面を囲む円筒状の複数の円筒状のターゲット部材を有し、複数のターゲット部材のそれぞれがバッキングチューブの中心軸方向に離間するように並設され、中心軸方向に複数のターゲット部材が並ぶことよって隣り合うターゲット部材間に形成される間隙がバッキングチューブの中心軸周りを周回し、間隙に連通する凹部が上記バッキングチューブの側に形成されている。接合材は、バッキングチューブと上記ターゲット本体との間に設けられ、バッキングチューブと複数のターゲット部材のそれぞれとを接合する。遮蔽部材は、接合材とターゲット本体との間に配置され、凹部に収容され、間隙を上記接合材の側から遮蔽する。
SPUTTERING TARGET AND SPUTTERING TARGET MANUFACTURING METHOD
CIBLE DE PULVÉRISATION CATHODIQUE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
スパッタリングターゲット及びスパッタリングターゲットの製造方法
WADA MASARU (author) / SAITOU KATSUHITO (author) / KAWAGOE YUU (author) / TAKESUE KENTAROU (author) / TAKAHASHI KAZUTOSHI (author)
2020-12-17
Patent
Electronic Resource
Japanese
SPUTTERING TARGET AND SPUTTERING TARGET MANUFACTURING METHOD
| European Patent Office | 2020
SPUTTERING TARGET AND SPUTTERING TARGET MANUFACTURING METHOD
| European Patent Office | 2020
SPUTTERING TARGET AND METHOD OF MANUFACTURING SPUTTERING TARGET
| European Patent Office | 2020
SPUTTERING TARGET, AND MANUFACTURING METHOD OF SPUTTERING TARGET
| European Patent Office | 2019
SPUTTERING TARGET AND METHOD FOR MANUFACTURING SPUTTERING TARGET
| European Patent Office | 2023