Ultra-thin gate dielectrics grown by low-temperature processes for applications to ULSI devices: Fid-Bau Portal

Ultra-thin gate dielectrics grown by low-temperature processes for applications to ULSI devices

Hwang, H.-L. / Chen, P.-C. / Hsu, K. Y. J.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Ultra-thin gate dielectrics grown by low-temperature processes for applications to ULSI devices

Hwang, H.-L. / Chen, P.-C. / Hsu, K. Y. J.

Ultra-thin gate dielectrics grown by low-temperature processes for applications to ULSI devices

Hwang, H.-L. / Chen, P.-C. / Hsu, K. Y. J.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Ultra-thin gate dielectrics grown by low-temperature processes for applications to ULSI devices

Beteiligte:

Hwang, H.-L. (Autor:in) / Chen, P.-C. (Autor:in) / Hsu, K. Y. J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 92 ; 180-192

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

13 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

Chung, H. Y. / Dietl, W. / Niess, J. et al. | British Library Online Contents | 2005

Depth profiling of ultra-thin oxynitride gate dielectrics by using MCs2+ technique

Gui, D. / Mo, Z. Q. / Xing, Z. X. et al. | British Library Online Contents | 2008

Investigation of Ultra Thin Thermal Nitrided Gate Dielectrics in Comparison to Plasma Nitrided Gate Dielectrics for High-Performance Logic Application for 65nm

Trentzsch, M. / Golz, C. / Wieczorek, K. et al. | British Library Online Contents | 2008

Ultrathin silicide formation for ULSI devices

Tung, R. T. | British Library Online Contents | 1997

Material Characteristics and Electrical Modeling of Ultra Thin Copper Oxides in ULSI Application

Ohba, T. | British Library Online Contents | 2007

Nach oben