Effect of thermal annealing on the microstructure of ytterbium-implanted silicon wafers: Fid-Bau Portal

Effect of thermal annealing on the microstructure of ytterbium-implanted silicon wafers

Yang, Y. / Chen, H. / Zhou, Y. Q. / Li, F. H.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Effect of thermal annealing on the microstructure of ytterbium-implanted silicon wafers

Yang, Y. / Chen, H. / Zhou, Y. Q. / Li, F. H.

Effect of thermal annealing on the microstructure of ytterbium-implanted silicon wafers

Yang, Y. / Chen, H. / Zhou, Y. Q. / Li, F. H.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Effect of thermal annealing on the microstructure of ytterbium-implanted silicon wafers

Beteiligte:

Yang, Y. (Autor:in) / Chen, H. (Autor:in) / Zhou, Y. Q. (Autor:in) / Li, F. H. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 32 ; 6665-6670

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0022-2461

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

Xiao, Q. / Tu, H. / Zhou, Q. et al. | British Library Online Contents | 2006

Secondary ion mass spectrometry characterization of indium-implanted silicon wafers

Blackmer-Krasinski, C. / Morinville, W. R. | British Library Online Contents | 2004

Defect annealing in ion implanted silicon carbide

Calcagno, L. / Grimaldi, M. G. / Musumeci, P. | British Library Online Contents | 1997

A Light-Induced Annealing of Silicon Implanted Layers

Lojek, B. | British Library Online Contents | 2008

Direct determination of the initial thermal evolution behaviour of the platelet defects in hydrogen implanted silicon wafers

Xiao, Q. / Tu, H. | British Library Online Contents | 2005

Nach oben