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    Titel:

    Metal-Nitride-Semiconductor Capacitors on 6H-SiC

    Beteiligte:

    Berberich, S. (Autor:in) / Godignon, P. (Autor:in) / Millan, J. (Autor:in) / Planson, D. (Autor:in) / Hartnagel, H. L. (Autor:in) / Senes, A. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 264/268 ; 881-884

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1998

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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