Excimer laser etching of GaAs, Al~xGa~1~-~xAs and CuInSe~2 in chlorine atmosphere: Fid-Bau Portal

Excimer laser etching of GaAs, Al~xGa~1~-~xAs and CuInSe~2 in chlorine atmosphere

Zimmer, K. / Dienelt, J. / Herfurth, F. / Braun, A. / Otte, K. / Lippold, G. / Gottschalch, V. / Bigl, F.

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Titel:

Excimer laser etching of GaAs, Al~xGa~1~-~xAs and CuInSe~2 in chlorine atmosphere

Beteiligte:

Zimmer, K. (Autor:in) / Dienelt, J. (Autor:in) / Herfurth, F. (Autor:in) / Braun, A. (Autor:in) / Otte, K. (Autor:in) / Lippold, G. (Autor:in) / Gottschalch, V. (Autor:in) / Bigl, F. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 127-129 ; 800-804

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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