Damage Evolution in Al-implanted 4H SiC: Fid-Bau Portal

Damage Evolution in Al-implanted 4H SiC

Hallen, A. / Persson, P. O. A. / Kuznetsov, A. Y. / Hultman, L. / Svensson, B. G.

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Titel:

Damage Evolution in Al-implanted 4H SiC

Beteiligte:

Hallen, A. (Autor:in) / Persson, P. O. A. (Autor:in) / Kuznetsov, A. Y. (Autor:in) / Hultman, L. (Autor:in) / Svensson, B. G. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 338/342 ; 869-872

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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