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Deposition of hydrogenated amorphous carbon films from CH~4/Ar plasmas: Ar dilution effects

Valentini, L. / Kenny, J. M. / Mariotto, G. / Tosi, P.

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Titel:

Deposition of hydrogenated amorphous carbon films from CH~4/Ar plasmas: Ar dilution effects

Beteiligte:

Valentini, L. (Autor:in) / Kenny, J. M. (Autor:in) / Mariotto, G. (Autor:in) / Tosi, P. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 36 ; 5295-5300

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0022-2461

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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