Ultra-shallow, super-doped and box-like junctions realized by laser-induced doping: Fid-Bau Portal

Ultra-shallow, super-doped and box-like junctions realized by laser-induced doping

Kerrien, G. / Boulmer, J. / Debarre, D. / Bouchier, D. / Grouillet, A. / Lenoble, D.

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Titel:

Ultra-shallow, super-doped and box-like junctions realized by laser-induced doping

Beteiligte:

Kerrien, G. (Autor:in) / Boulmer, J. (Autor:in) / Debarre, D. (Autor:in) / Bouchier, D. (Autor:in) / Grouillet, A. (Autor:in) / Lenoble, D. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 186 ; 45-51

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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