Effect of Rapid Thermal Annealing Conditions on Parameters of Ni/21R-SiC Contacts: Fid-Bau Portal

Effect of Rapid Thermal Annealing Conditions on Parameters of Ni/21R-SiC Contacts

Litvinov, V. L. / Demakov, K. D. / Agueev, O. A. / Svetlichnyi, A. M. / Konakova, R. V. / Lytvyn, P. M. / Milenin, V. V.

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Titel:

Effect of Rapid Thermal Annealing Conditions on Parameters of Ni/21R-SiC Contacts

Beteiligte:

Litvinov, V. L. (Autor:in) / Demakov, K. D. (Autor:in) / Agueev, O. A. (Autor:in) / Svetlichnyi, A. M. (Autor:in) / Konakova, R. V. (Autor:in) / Lytvyn, P. M. (Autor:in) / Milenin, V. V. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 389/393 ; 905-908

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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