Characterization of SiC Epitaxial Structures using High-Resolution X-Ray Diffraction Techniques: Fid-Bau Portal

Characterization of SiC Epitaxial Structures using High-Resolution X-Ray Diffraction Techniques

Huang, X. R. / Dudley, M. / Cho, W. / Okojie, R. S. / Neudeck, P. G.

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Titel:

Characterization of SiC Epitaxial Structures using High-Resolution X-Ray Diffraction Techniques

Beteiligte:

Huang, X. R. (Autor:in) / Dudley, M. (Autor:in) / Cho, W. (Autor:in) / Okojie, R. S. (Autor:in) / Neudeck, P. G. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 457/460 ; 157-162

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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