Mechanical stress in PECVD a-SiC:H: aging and plasma treatments effects: Fid-Bau Portal

Mechanical stress in PECVD a-SiC:H: aging and plasma treatments effects

Jousseaume, V. / Rochat, N. / Favennec, L. / Renault, O. / Passemard, G.

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Titel:

Mechanical stress in PECVD a-SiC:H: aging and plasma treatments effects

Beteiligte:

Jousseaume, V. (Autor:in) / Rochat, N. (Autor:in) / Favennec, L. (Autor:in) / Renault, O. (Autor:in) / Passemard, G. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 7 ; 301-305

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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