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Modifications of He implantation induced cavities in silicon by MeV silicon implantation

Desgardin, P. / Barthe, M. F. / Ntsoenzok, E. / Liu, C. L.

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Titel:

Modifications of He implantation induced cavities in silicon by MeV silicon implantation

Beteiligte:

Desgardin, P. (Autor:in) / Barthe, M. F. (Autor:in) / Ntsoenzok, E. (Autor:in) / Liu, C. L. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 252 ; 3231-3236

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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