Effect of Anisotropy on Chemical Mechanical Polishing of LBO Crystal: Fid-Bau Portal

Effect of Anisotropy on Chemical Mechanical Polishing of LBO Crystal

Li, J. / Zhu, Y.W. / Zuo, D.W. / Zhu, Y. / Chen, C.T.

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Titel:

Effect of Anisotropy on Chemical Mechanical Polishing of LBO Crystal

Beteiligte:

Li, J. (Autor:in) / Zhu, Y.W. (Autor:in) / Zuo, D.W. (Autor:in) / Zhu, Y. (Autor:in) / Chen, C.T. (Autor:in) / Yao, Y. / Zuo, D. / Xu, X.

Erschienen in:

Machining and Advanced Manufacturing Technology X ; 33-36

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 431/432

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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