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Thin PSG Process for 4H-SiC MOSFET

Sharma, Y.K. / Ahyi, A.C. / Isaacs-Smith, T. / Modic, A. / Xu, Y. / Granfukel, E. / Jennings, M.R. / Fisher, C. / Thomas, S.M. / Mawby, P.A.

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Titel:

Thin PSG Process for 4H-SiC MOSFET

Beteiligte:

Sharma, Y.K. (Autor:in) / Ahyi, A.C. (Autor:in) / Isaacs-Smith, T. (Autor:in) / Modic, A. (Autor:in) / Xu, Y. (Autor:in) / Granfukel, E. (Autor:in) / Jennings, M.R. (Autor:in) / Fisher, C. (Autor:in) / Thomas, S.M. (Autor:in) / Mawby, P.A. (Autor:in)

Erschienen in:

Silicon Carbide and Related Materials 2013 PART 1 Selected, peer reviewed papers from the 15^t^h International Conference on Silicon Carbide and Related Materials, (ICSCRM 2013), September 29 - October 4, 2013, Miyazaki, Japan ; 513-516

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 778/780

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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