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Technical Note: Excimer laser–induced etching of semiconductors and metals

Peyre, J .–L. / Riviere, D. / Vannier, C. / Villela, G.

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Titel:

Technical Note: Excimer laser–induced etching of semiconductors and metals

Beteiligte:

Peyre, J .–L. (Autor:in) / Riviere, D. (Autor:in) / Vannier, C. (Autor:in) / Villela, G. (Autor:in)

Erschienen in:

International journal of material & product technology ; 5 ; 301-310

Erscheinungsdatum:

01.01.1990

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0268-1900

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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